崗位職責(zé)1、主導(dǎo)12英寸立式中高溫氧化爐（如THEORIS X302系列1）的氣路設(shè)計(jì)、熱場(chǎng)仿真及反應(yīng)室優(yōu)化，解決顆粒污染控制（如流化床立式爐的懸浮顆粒管理技術(shù)6）和晶圓傳輸效率問題；2、開發(fā)立式爐工藝（如氧化、退火、CVD沉積35），完成設(shè)備調(diào)試與工藝驗(yàn)證；3、 協(xié)同跨部門完成半導(dǎo)體設(shè)備（如碳化硅單晶生長(zhǎng)爐7）的工程化落地。崗位要求：1、具備12吋立式爐設(shè)備開發(fā)經(jīng)驗(yàn)；2、對(duì)立式爐氣路、反應(yīng)室，熱場(chǎng)，顆粒污染控制、高效晶圓傳輸?shù)汝P(guān)鍵技術(shù)系統(tǒng)部件和立式爐工藝有開發(fā)經(jīng)驗(yàn)者優(yōu)先；3、解決12吋立式爐工藝應(yīng)用、調(diào)試等問題。